产品特点

采用提拉法、导模法、物理气相传输法、液相法等生长工艺，在真空或高压工况下，采用电阻/感应等加热方式，配合精密的机械传动机构，精准的温度控制技术和自动化的控制程序，从而生长出各种人工晶体材料。

Ø  工作压力：真空或高压

Ø  最高加热温度：≥2000℃

Ø  加热形式：电阻或感应

Ø  控温精度：≤±0.5℃

Ø  配套流场和温场仿真计算

Ø  集成化设计，自动化程度高

Ø  可根据客户需求进行定制化设计

可提供产品：

u  蓝宝石长晶炉

u  磷化铟多晶合成炉

u  磷化铟单晶生长炉

u  砷化镓长晶炉

u  碳化硅长晶炉

u  氧化镓长晶炉